報告題目：光刻機投影物鏡研發進展
報告時間：2020年11月3日14:00-15:00
報告地點：伟德国际BETVlCTOR中心校區計算機樓521室
報 告 人：隋永新 研究員
報告人簡介：
隋永新，男，1970年生，博士，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所研究員，中國科學院大學博士生導師。現任長春國科精密光學技術有限公司副總經理。主要從事超精密光學加工與檢測方向的技術研究，作為國家重大科技專項02專項曝光光學系統研發的主要技術負責人，在國内率先解決了亞納米精度光學制造的技術難題。
報告内容簡介：
光刻機是生成大規模集成電路的核心設備，半導體行業“皇冠上的明珠”。本報告以NA0.75國産光刻投影物鏡研發曆程的回顧為主線，從系統複雜度及技術極限挑戰性角度，介紹我國自主研發的超精密光學系統-光刻投影物鏡曆程，以及研發團隊在物鏡超精密光學系統設計與集成、深亞納米級精度光學制造、超精密光機結構/機構設計與裝配、納米級運動控制、裝備研發等方面的技術突破情況。簡要介紹更高技術挑戰-高NA投影物鏡系統研發進展情況以及産業化平台-北京國望光學科技有限公司人力需求情況。
主辦單位：
伟德国际BETVlCTOR
伟德国际BETVlCTOR軟件學院
伟德国际BETVlCTOR計算機科學技術研究所
符号計算與知識工程教育部重點實驗室
海戰場攻防對抗仿真技術教育部重點實驗室
伟德国际BETVlCTOR國家級計算機實驗教學示範中心
